![[반도체] 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/195/194397-0001.gif)
![[반도체] 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/195/194397-0002.gif)
![[반도체] 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/195/194397-0003.gif)
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![[반도체] 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/195/194397-0008.gif)
![[반도체] 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/195/194397-0009.gif)
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![[반도체] 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/195/194397-0011.gif)
![[반도체] 반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/195/194397-0012.gif)
분야
hwpⅠ. 서론
Ⅱ. 세부 기술분야
1. Phase-I PFC방출량 저감분야
2. Phase-II 유해chemical 저감 및 관리분야
Ⅲ. 향후 기술개발방향
Ⅳ. 결론
국내의 반도체 생산기술은 선진기술과 우위를 다투고 있는 반면 반도체 산업의 근본이 되는 소재, 시약, 가스등의 반도체 재료기술과 핵심부품 등의 반도체 장비기술 및 환경처리기술은 매우 낙후되어있고 아직도 많은 부분이 해외 의존적이다. 반도체 제조공정에서 많이 사용되는 PFC와 유해 chemical의 사용 규제가 점점 강화됨에 따라 배출량을 기준으로 사용량 제한을 받게 될 전망이며 한정된 양의 chemical과 Gas를 효율적으로 사용하기 위해서는 PFC나 유해 chemical을 사용하는 반도체장비의 개량과 교체, 방출된 PFC나 VOC의 포집 및 재활용, PFC나 유해 chemical 대체화합물 사용 등의 기술이 필요해진다. 실제로 반도체산업에서 환경유해물질 방출은 지구온난화 및 환경오염에 상당한 영향을 주고 있고 이에 대응하는 기술개발이 미국등 선진국에서 활발히 진행되고 있으나, 국내업체는 국제적 환경안전 규제동향 정보취득에 취약하며 대처능력이 수동적인 실정이다. 최근에 관심을 모으고 있는 지구온난화의 주원인 인 PFC 방출량 감소를 위하여 국내반도체업계에서는 1997년도 기준 2010 년까지 PFC사용량을 10% 감축하기로 세계반도체산업협회(WSC)에서 합의하였다.
따라서 세계적인 반도체 생산국가로 지속적으로 발전하기 위해서는 선진국이 준비하고 있는 환경 친화적인 기술을 파악하고 국내에서도 선진기술에 버금가는 대처기술을 개발하여야 할 것이다. 아울러 국내에서 개발되는 반도체 제조공정과 관련된 오염물질 배출량 저감을 위한 대체물질개발 및 공정 개선기술들을 산업체에 적극 활용함으로써 선진국에 대한 기술의존 비율을 낮추고 선진국이 주도하고 있는 범세계적 규제에 능동적으로 대처해 나가는 것이 필요하다.
국내외 반도체산업에서 추구하고 있는 기술개발 단계는 크게 지구온난화방지, 지구환경오염방지, 지구의 온실효과방지의 세 분야로 구분할 수 있다.
Phase-I으로 지구 온난화방지를 위한 PFC배출량 저감이 가장 첫 번째 관심분야이며 Phase-II로는 유해chemical과 gas사용을 최대한 줄이고 철저하게 관리하여 수질과 토양오염을 방지하기 위한 것이며 Phase-III는 CO2방출로 인한 지구 온실효과 방지를 위한 에너지절감분야와 대기오염 방지분야로 나눌 수 있다.
우선적으로 WSC에서는 2010년까지 PFC 배출량감소를 위한 Numerical target을 미국, 일본, 유럽, 대만등 각 협회 별로 정하였다. Phase-I 단계는 현재 각 국가별로 또한 반도체 회사별로 2010년까지 PFC사용량 감소를 위한 기술개발 전략을 수립하여 추진 중이다. Phase-II 단계는 지구 환경오염에 가장 문제가 될 수 있는 유해 chemical과 gas를 처리하고 관리하는 분야로서 이를 위해서는 우선적으로 모든 chemical과 gas에 대한 MSDS data-base가 구축되어 반도체제조 공정별로 관리되어야 한다. 반도체제조 설비와 모든 Utility 설비의 설계제작 및 최적의 운영과정에서 추구할 수 있는 에너지절감 분야는 국내에 반도체제조 설비업체가 없기 때문에 미국이나 일본 등 외국의 설비업체와 상호 유기적인 협조체제 구축을 통하여 가능하다고 볼 수 있다.
국내의 반도체제조과정에서 환경문제와 연관된 처리비용은 상당한 비중을 차지하고 있어 보다 적극적인 반도체 환경기술 개발이 매우 시급한 실정이다. 따라서 반도체제조 공정에 사용되고 있는 모든 화학약품과 Gas에 대하여 MSDS Data를 확보하고 약품반입부터 사용, 처리과정까지의 Life Cycle Assesment (LCA)의 개념에서 총괄적으로 관리해야 하며 사용하는 Water과 에너지 사용량을 최소화시키는 방향으로 추진하여야 한다. 이울러 국내 반도체 업계의 국제경쟁력 제고를 위해서도 환경과 관련된 제조단가 상승을 방지할 필요가 있으며 이를 위해서 국제적인 동향을 면밀히 조사하고 합리적인 방향설정 및 적극적인 환경 친화적 기술개발이 이루어져야 할 것이다.
