[정보통신공학] RF MEMS 스위치 제작

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레포트 > 공학계열
2008.08.27
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소개글

[정보통신공학] RF MEMS 스위치 제작에 대한 자료입니다.

Introduction
1. RF MEMS 스위치 개요
2. 스위치 방식에 따른 특징과 장, 단점
3. 스위치 제작 시 고려사항

Key design factors

Experimental Methods

Results and Suggestion

Conclusion

본문내용

1. RF MEMS 스위치 개요
이동통신 기술이 발달하고 있는 지금 원활한 통신을 위한 무선기술은 현저하게 진화되고 있다. 향후, 통신속도의 고속화와 접속의 쾌적성을 추구하면, 휴대단말을 비롯한 무선기기 내부의 부품, 특히 수동 부품수의 증대가 큰 issue화 되고 있다. 이에 대해, 부품의 대폭적인 소형화를 가능하게 하는 RF-MEMS(Radio Frequency-Micro Electro Mechanical System: RF MEMS) 기술이 주목 받고 있다. LSI 등의 반도체 디바이스 제작 프로세스와 프로세스의 호환성이 높으며, 이 기술에 의하여, 향후 튜너블 커패시터나 필터 등의 수동부품과 LSI를 원칩화할 수 있는 등, 차세대 무선기기를 큰 폭으로 소형화할 수 있는 길이 열렸다.

이 보고서는 RF MEMS 스위치에 대해 알아보고 제작하여 측정해보는 시간을 갖도록 한다.

MEMS 란 Micro-Electro-Mechanical System 의 약어로서 마이크론 단위의 기계적 구조물과 전자회로가 결합된 시스템을 의미한다. 여기서 광과 MEMS기술이 접목되어 MEMS와 광이 결합한 MOEMS란 분야가 수년 전부터 각광받기 시작하였다. MEMS/MOEMS란 수십에서 수백 마이크론 크기의 아주 작은 구조물을 마이크론 단위의 정밀도로 가공하고 여기에 전자회로나 광부품 등을 결합 또는 집적화 시켜 원하는 기능을 수행할 수 있도록 만든 초소형 전자/광 시스템을 말한다. 이와 같이 MEMS 기술을 이용한다면 종래의 기계, 광 부품 및 시스템 등의 크기와 전력소모를 획기적으로 줄일 수 있으며 동시에 공간 활용도와 부품의 기능도 향상시킬 수 있게 될 것이다. MEMS 기술을 이용하여 현재 상용화 된 제품들로는 자동차용 압력 및 가속도 센서, 잉크젯 프린터용 헤드, 의료용 혈압계, 광통신용 스위치, 유량계, 이동통신기기용 마이크로웨이브 스위치 등을 들 수 있다.

가장 일반적인 두 가지 형태(Membrane 구조, Cantilever 구조)

shunt 스위치와 series 스위치 방식과 등가회로

►MEMS RF 스위치와
GaAs FET p-i-n 다이오드 비교
▪Insertion Loss가 거의 없다.
▪Isolation이 매우 좋다.
▪스위칭 타임이 느리다.
▪Power 소모가 더 적다.
▪Operating Voltage가 높다.
▪Ultra Linear

2. 스위치 방식에 따른 특징과 장, 단점

스위치의 분류방식으로 접촉방식으로 나눌 수 있는데, series 방식과 shunt 방식으로 나눌 수 있다.

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