분야
hwp1. 실험 목적
2. 시료 조사
2.1 SrTiO3의 구조적 특성
2.2 LaAlO3의 구조적 특성
2.3 SrTiO3의 물리화학적 특성
2.4 Pulsed Laser Deposition(PLD)
3. XRD 조사
3.1 XRD의 기본원리
3.2 역격자와 회절조건
3.3 XRD의 특징
4. 실험 방법
4.1 시료 준비
4.2 XRD 분석
5. 예상 결과
5.1 논문 분석
5.2 JCPDS card 분석
< 추가 사항 >
< Reference >
2.2 LaAlO3의 구조적 특성
LaAlO3는 SrTiO3와 마찬가지로 그림 2와 같은 Perovskite 구조를 갖는다. 큰 양이온과 산소이온이 FCC - 파생구조를 형성하고, 작은 양이온이 octahedral site를 채운다. Perovskite 구조는 그림2와 같으며 특정 온도 에서는 Tetragonal 구조로 변하면서 격자내에 dipole(쌍극자)가 생기게 되어 전하를 띄게 되는 구조이다. 이러한 재료는 다른 재료에 비해 재료에 축적할 수 있는 전하량이 많아 정보저장의 재료로 활용될 수 있다.
SrTiO3와 격자배열이 비슷하기 때문에 본 실험에서는 LaAlO3(100) 단결정을 기판으로 사용한 SrTiO3/LaAlO3 박막을 XRD 분석한다.
2.RF 마그네트론 스피터링법에 의한 SrTiO3 박막 제조와 유전특성/김병구, 손봉균, 최승철/ Journal of Materials Research Vol.5, No6(1995)
3.Pulsed Laser Deposition을 이용한 Nb doped SrTiO3 박막의 제작과 최적조건/안진용, Seishiro Ohya, 최승철/ Journal of Materials Research Vol.36, No2, pp.116~121, (1999)
4.SrTiO3 박막 혼정의 전기적 특성/이찬구, 이수대/ 기초과학연구소논문집 제 14집, 55~64. (2000)
5.스퍼터링 방법을 이용한 SrTiO3 박막의 저항율 특성/이우선,손경춘,서용진,김남오,이경섭,김형곤/ 99 춘계학술논문대회 논문집 PA-1(pp.207-210)
6. http://icm.re.kr(재료연구정보센터)
7. "Formation of Functional Ceramic Thin Films by a Laser Ablation Method," 25(10), 954-995 (1990)/T. Kawai and S. Kawai, Ceramics 25
8., "Laser-Ablation Deposition and Characterization of Ferroelectric Capacitors for Nonvolatile Memories," MRS Bulletin, 21(6), 33-39 (1996)/O. Auciello and R. Ramesh
9. Praparation of Nb doped SrTiO3 Film by Pulsed Laser Deposition and Optimum Processing Conditions/J. Y. Ahn, S. Ohya and S. C. Choi
10. PLD기법에 의한 강유전체 늇/YBCO/LaAlO3, 헤테로 박막의 제작 및 특성/ 이재형,고중혁,구상모,문병무/
