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분야
hwpFlow Simulation
1. 서론
(1) CFD의 정의
(2) CFD의 필요성
(3) CFD의 사용예
(4) CFD의 종류 및 분류
FLUENT 6
POLYFLOW
FanNoise
MixSim
(5) CFD의 시장성
-미육군 Tent 내부의 HVAC 해석 사례
2. 본론
(1) Al Etching Simulation
1.1 유체의 속도를 증가시켜( -0.691 →-1.382 →-2.073) 가면서 반응기내 유체의 속도, 압력, 온도 및 Etching 속도의 변화를 관찰
A. Etching velocity
B. Velocity
C. Pressure
D. Temp.
1.2 Al의 표면 온도를 변화시켜 반응기 내의 온도 및 증착속도의 변화를 관찰한다.
A. Etching velocity
B. Temp.
1.3 Inlet의 지름을 반으로 줄일 경우 반응기 내부의 속도, 압력, 온도 및 증착속도의 변화를 관찰한다.
1. Velocity
2. Pressure.
3. Temperature.
4. Etching velocity
(2) Flow Simulation
※ Governing Equation
2.1 Flow Velocity 변화에 따른 전체 속도와 압력 변화
※ Flow through a circular tube
2.2 Turbulence Model을 포함하였을 경우와 포함하지 않았을 경우 비교
① 속도
② 압력
2.3 입구의 지름을 2배로 변화시켰을 때 속도와 압력의 변화
① 속도
② 압력
3. 결론
4. Reference
-반도체 제조 공정중 하나인 Al Etching 과정은 기자재상에 접착되어 있는 전도성 물질의 불필요한 부분을 화학적 또는 화학처리 및 전리 작용에 의해 제거함으로써 원하는 인쇄 회로를 형성시키는 작업 도는 그 공정을 말한다. Etching 과정에는 습식과 건식으로 나눌 수 있다. 습식과정은 용액을 이용한 etching과정을 말하는 것이고 건식은 gas를 이용한 것인데 흔히 사용하는 방법은 Resist 또는 PR(Photo Resist)를 이용하여 etching하고자 하는 곳 이외의 부분을 가리고 용액 또는 가스에 노출시키면 노출된 부분은 반응하여 떨어져 나간다. 건식방법으로는 에너지가 있는 것이면 모두 이용가능하나 물질이 이 에너지를 견뎌야 되고 보통은 플라즈마를 이용하여 가스를 분해하여 반응성 물질(F, Cl, Br)을 만들어 etching한다. 이번에 설계하고 분석하려는 Al Etching chamber는 IC, Semiconductor제조에서 원하는 구조를 만들기 위해 막을 먼저 깔고 그 다음 위에서 다듬거나 구멍을 뚫거나 회로를 조작하는 과정의 reactor chamber이다. 이 chamber를 CFD-ACE프로그램을 이용해 구현한 다음 들어오는 1-1)유체의 속도를 증가시켜 가면서 반응기내 유체의 속도, 압력, 온도 및 Etching 속도의 변화를 관찰하고 1-2) Al의 표면 온도를 변화시켜 반응기내의 온도 및 증착속도의 변화를 관찰하고 마지막으로 1-3) Inlet의지름 반으로 줄여서 반응기 내부의 속도, 압력, 온도 및 증착속도의 변화를 관찰하는 Simulation report 이다.
Flow Simulation
-원형 pipe에서 비압축성 유체의 정상상태(steady-state) flow는 유입되는 유체의 속도에 의해 층류와 난류 모두를 나타낼 수 있다. 따라서 주어진 원형관을 CFD-ACE프로그램을 이용해 구현한 다음 2-1)Flow velocity를 증가시키면서 전체 속도와 압력의 변화를 관찰 2-2) 2-1에서 Flow Velocity가 높을 경우,PT에서 Turbulence Model을 포함하였을 경우와 포함하지 않았을 경우를 비교하고 2-3) 입구의 지름을 2배로 변화시켜서 속도와 압력의 변화를 관찰하는 Simulation report 이다.
1. 서론
(1) CFD의 정의
-1960년대에 들어서면서 컴퓨터의 급속한 발달에 힘입어서 과거에는 이론적으로 해석할 수 없었던 복잡한 열 및 유체유동에 대한 해석이 수치 해석적으로 가능하게 되었다. 특히, 지난 십 수 년 동안 컴퓨터의 발달은 눈부시게 성장하여, 수년 전까지만 해도 계산기의 용량 및 계산속도의 제한이 커다란 문제로 되었으나, 지금에는 소형 컴퓨터로도 처리가능하게 되었다. 따라서 현시점에서 최대용량의 슈퍼컴퓨터를 사용하면 상당히 대규모적인 계산이 가능하며, 최근 진보가 매우 빠른 수치역학분야에서의 컴퓨터 풍동은 그 산물이라고 할 수 있다. 이와 같이 하드웨어인 컴퓨터의 급속한 발달 및 보급과 함께 수치적연구가 비약적인 발전을 이루어 이제까지의 해석해(解析解) 중심의 이론적 연구를 대신해 가고
-Transport phenomena 2th R.Byron Bird
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