소개글
[반도체] 반도체 공정(process flow)에 대한 자료입니다.
목차
The chip making process
Making the Wafer
The Mask Making Process
Epitaxy
Photolithography process
Oxidation & Exposure
Etch & strip
Diffusion & Implant
Deposition
Oxidation
Interconnect - Vias
Interconnect – Metallization
Chemical Mechanical Planarization
Interconnect – Layers
Inspection & Measurement
Yield Impact
Test, Assembly & Packaging
Wafer Probe
Memory repair
Assembly & Packiging
Package Test
본문내용
Making the Wafer
The process
-A seed crystal is suspended in a molten bath of silicon
-It is slowly pulled up and grows into an ingot of silicon
-The ingot is removed and ground down to diameter
-The end is cut off, then thin silicon wafers are sawn off (sliced) and polished
Epitaxy
The growth of an ultra-pure layer of crystalline silicon
Approx 3% of wafer thickness
Contaminant-free for the subsequent construction of transistor
참고문헌
주로 외국 사이트에서 발췌 하였습니다.
하고 싶은 말
반도체 공정의 흐름(process flow)에 관해 ppt 자료로 만든 것입니다.
주로 외국 사이트에서 발췌 하였으며, 매우 자세하게 정리하였습니다.
발표 수업 중에 최고 점수를 받은 자료 입니다.