분야
ppt2. ESD의 모형
3. ESD를 어떻게 방지할 것인가?
4. ESD방지도구
5. 공정별 정전기 대책
전기중 흐르지 않고 정지된 전기가 정전기이다.
정전기는 양전하나 음전하가 한 곳에 몰려 있는 전기이다.
정전기는 부도체가 전자를 잃거나 얻음으로 대전될 때 부도체 표면에 생긴다.
정전기는 주로 두 물체간 마찰이 발생하면 한 물체는 Positive(양)의 전하가, 다른 한 물체는 Negative(음)의 전하를 띠게 된다.
양,음의 전하를 띠게되는 물체는 방전(放電)하여 중성화(中性化) 하려는 성질이 있어 저항이 가장 적은쪽으로 Ground를 형성하여 급속한 방전을실시한다.
이때 급속한 방전으로 급전류(궁극적으로 전력)가 흐르게 되고, 이 전력은 열(熱)로 나타난다. 이 뜨거운 열이 IC 내부의 배선인 Al(알루미늄)을 녹이고, 층간 절연막인 SiO2를 파괴시켜 IC를 못 쓰게 만든다.
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