![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0001.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0002.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0003.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0004.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0005.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0006.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0007.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0008.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0009.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0010.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0011.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0012.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0013.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0014.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0015.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0016.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0017.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-18](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0018.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-19](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0019.gif)
![[공학]ZnO 박막 스퍼터링 증착-20](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459630-0020.gif)
분야
ppt2.Introduction
3.Experimental
4.Results and discussions
5.Conclusions
TiO2같은 유사한 띠 간격과 띠단 위치를 갖는 직접 천이형 반도체
박막은 센서, LED, 태양전지, 압전-나노발전기등 활용
Sol-gel법, 금속 유기화학 진공증착, 펄스 레이저 증착, 스퍼터링 증착 등이 사용
스퍼터링 증착의 이점-결정방향 조작성, 저온 성장, 성장막의 높은 밀도, 계면 접착성
대면 표적 스퍼터링 기술-고밀도 박박 증착에 효과적인 기술
높은 스퍼터링 효율, 높은 플라즈마 밀도, 낮은 공정압력, 낮은 결함 의 이점
