![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0001.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0002.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0003.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0004.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0005.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0006.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0007.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0008.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0009.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0010.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0011.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0012.gif)
![[반도체공정]반도체 물성 검사(STM)-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467311-0013.gif)
분야
pptx2. 기본 원리
3. 특징 및 응용
4. 응용
5. 응용원리
6. 정리
1) 고체 표면 원자들의 재 배열
2) STM의 발명 이후 원자 배열 추정 가능
3) 양자역학적 터널링 현상 이용
4) 텅스텐, 백금-이리듐 합금의 탐침 사용
1982년 IBM연구소에서 개발한 현미경으로, 원자 현미경 계열 중 처음으로 등장.
양자역학적 터널링 현상에 의한 매우 작은 터널링 전류를 측정하여 이미지화 시키는 장비.
기본 원리
탐침과 모재 표면간의 전자터널링 현상이용
STM에 사용되는 탐침은 가느다란 텅스텐(W)선을 전기화학적으로 식각한 것.
그로인해 원자 맨 끝부분에는 원자 몇 개만 있게 됨.
시료와 탐침 사이의 거리가 터널링 현상으로 인해 수치를 얻음.
3. 특징 및 응용
원자 수준의 매우 높은 고해상도 표면 관찰
STM 탐침을 이용한 원자, 분자 단위의 조작이 가능
STM 스캐닝 속도는 102-104 A/sec정도로 느림
탐침이 시료에서 불과 1nm 이내에 위치하기 때문에접축에 의한 표면 손상 가능성이 큼
측정 원리상 전기적으로 부도체인 시료는 관찰할 수 없음
상압에서 터널링 전류의 안정성이 떨어짐
