[신소재 공학] 도핑을 통한 Vo2박막의 상변이 온도제어 및 특성변화

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소개글
[신소재 공학] 도핑을 통한 Vo2박막의 상변이 온도제어 및 특성변화에 대한 자료입니다.
목차
1.실험소개
2.실험목적
3.실험과정
4.결과 및 고찰
5.결론
6.참고문헌
본문내용
VO2 박막은 MIT 현상을 거쳐서 68 ℃ 근처에서 갑자기 상변이 현상을 일으키는데 이때 전기적 성질과 광학적 성질이 급격히 바뀐다.
상전이가 되면서 68 ℃ 이하에서 부도체와 monoclinic, 그 이상에서 금속의 특성과 tetragonal 구조를 가진다.



XRD분석
W, Sn조성에 따른 XRD pattern.
2θ=41.74˚ 근방에서 강한 peak, 이때 JCPDS카드 분석시 밀러지수는 001계열로 나간다.
Al2O3와 VO2의 성장방향은 001→ 그기판은 단결정 C축 사파이어 → 증착 작업시 기판물질과 박막증착물질은 성장방향에 맞게 증착


참고문헌
참고문헌
Ping Jin, Sakae Tanemura, J. Jpn. Phys. Vol. 34 , 1479(1994)
Ping Jin, Sakae Tanemura, J. Jpn. Phys. Vol. 34, 2459 (1995)
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