![[반도체] PECVD 공정 및 장비-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0001.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0002.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0003.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0004.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0005.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0006.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0007.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0008.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0009.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0010.gif)
![[반도체] PECVD 공정 및 장비-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/560/559968-0011.gif)
분야
hwpCVD 기술의 발전 과정 및 시장 동향
시장성 조사
본론
1. CVD공정의 개념 및 정의
2. CVD공정 분류 및 각 공정의 특징, 장단점
3. PECVD 원리
4. PECVD 특징
(1)TEOS
(2) ARC
(3) ACL
5. PECVD에 사용되는 화학물질
6. PECVD 장비
3. PECVD 원리
- 플라즈마 화학 기상 증착(PECVD) 원리
PECVD는 전기적 방전을 통해 기체 내에 화학 반응을 일으켜 화학 기상 증착물을 형성시키는 기술이다. 이러한 기술은 통상 플라즈마 열역학에 따른 2 가지 부류로 나뉜다. 즉, 대기 중에서의 아크 방전과 같은 열 플라즈마 및 저압 글로우 방전과 같은 불평형 플라즈마 혹은 찬 플라즈마이다. 앞으로 PECVD라 함은 불평형 글로우 방전 CVD만을 가리키는 것으로 한다.
일반적으로 PECVD는 다음과 같은 단계에 따라 진행된다.
· 글로우 방전을 통한 반응 물질의 생성
· 막 표면으로의 흡착과 확산
· 표면 결합의 활성화와 생성 기체의 증착
· 반응 물질의 재결합
PECVD의 반응 장치의 방전 전력 주파수는 50㎑∼13.56㎒이다. 그런데 RF 전력을 높은 임피던스의 방전에 연결하려면 매칭 회로가 필요하다. 또한 전원 전극상에 직류가 필요하다면반응 장치에의 마지막 연결을 직력 커패시터로 해야 한다. RF 연결은 기판 전극 그 자체에 할 수도 있고 기판을 부유시키거나 접지시킨 채로 반대편 전극에 할 수도 있다. 이러한 요소들이 이온 흡착과 탈착의 정도를 결정한다.
reference
http://www.semieri.co.kr/tt/board/ttboard.cgi?act=read&db=5_1&s_mode=def&sortby=name&order=desc&page=11&idx=91
www.google.co.kr
http://en.wikipedia.org/wiki/Plasma-enhanced_chemical_vapor_deposition
http://www.crystec.com/tridepe.htm
http://www.google.co.kr/url?sa=t&source=web&cd=2&ved=0CEkQFjAB&url=http%3A%2F%2Fcb.kicet.re.kr%2FlectureFileDown.do%3Ffile_idx%3D797&rct=j&q=pecvd&ei=bFLoTaihEIz0vQP9x-ntDw&usg=AFQjCNHm4VgKXMyZr2rzemrJ6lJ4CRBkjg&cad=rjt
http://www.plasmaequip.com/WHAT%20IS%20PECVD.pdf
http://www.ece.umd.edu/class/enee416.F2009/GroupActivities/Report6.pdf
http://www.oxfordplasma.de/technols/dp_d.htm
http://www.hitech-projects.com/dts/docs/pecvd.htm
