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[공학] 대기압 플라즈마

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레포트 > 공학계열
2012.11.12
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소개글

[공학] 대기압 플라즈마에 대한 자료입니다.

목차

주제 선정
저온 열 플라즈마
대기압 플라즈마
현황
동향

본문내용

플라즈마
저온플라즈마 기술은 건식공정으로 간단할 뿐만 아니라,
초기 투자비용 저렴, 설치부지 감소,
기존 설비에 적용 용이
생성된 부산물(질소가스)의 농업용 비료로 재이용 등 장점.

저온 플라즈마의 가스온도는 배출가스의 온도이며, 전자의 온도만 높기 때문에 고온을 적용할 수 없는 재료나 조건에 적용할 수 있고 장치가 간단하다.

◈ 기존의 대기 처리 방법
* 연소법
* 화학 세정법
* 생물처리법

◈ 개선된 처리 기술
* 플라즈마를 이용한 처리 기술

참고문헌

-저온 플라즈마를 이용한 화학반응공정기술 개발-송형근
-Korean Chemical Engineering Research, Vol.48, No.3,
355-358, 2010
-유도 결합형 저온 플라즈마 처리에 따른 폴리카보네이트
표면 특성 변화
-http://www.scienceall.com/
-한국반도체산업협회, "한국 반도체 산업의 현황 및 전망“
-강기성,박태진,윤길중, "반도체 공학", 한올출판사,p 55
~76,1997
-박광순,여진경,"반도체 공학", 학문사, p47,83~85,
1997
-국가핵융합 연구소 차세대 산업 기술과 플라즈마 -노태협

#대기압 #플라즈마 #공학

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