무기화학실험 - XPS[ESCA]의 원리와 특성, XPS 장치에 대해서

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레포트 > 자연계열
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무기화학실험 - XPS[ESCA]의 원리와 특성, XPS 장치에 대해서에 대한 자료입니다.

본문내용

무기화학실험 - XPS(ESCA)의 원리와 특성, XPS 장치에 대해서
XPS(X-ray photoelectron spectrometer)
ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)

초고진공 중에 위치한 고체 표면에 특성 X-ray를 조사하여 시료 내에 전자를 밖으로 튀어나오게 하여 그 전자의 운동에너지와 강도를 측정하는 것에 의해 물질 내에 있는 고유의 전자 결합에너지, 전자의 에너지 준위와 양을 아는 방법이다.

1. 원리와 특성
XPS는 이 기술을 개발한 스웨덴 Uppsala 대학교의 Siegbahn에 의해 붙여진 ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)라는 별명으로 흔히 알려져 있으며 그 원리는 다음과 같다.
ESCA는 전자를 이용한 표면분석 방법으로 표면의 원소 구성비(elemental composition)와 각 원소의 화학결합상태(chemical state)까지 알아낼 수 있다.모든 원소들의 전자는 K각, L각등 각(Shell)구조를 이루고 있으며, 그 내각 전자들은 각기 독특한 에너지준위(Binding Energy)를 가지고 있다. 예를 들어 산소의 1s 전자는 결합에너지가 531eV이고 탄소의 1s 전자의 결합에너지는 284eV, 실리콘 원자의 2p전자는 99eV의 결합에너지를 가지고 있다. 이와같이 각 원소마다 내각 전자들의 결합에너지가 다르기 때문에, 내각 전자들의 결합에너지를 측정하면 어떤 원소가 있는지를 유추할 수 있다.

참고문헌

경북대학교 공동실험실습관 / http://www.ssskorea.co.kr
네이버 지식인 & 블로그 (ESCA, XPS, CHA, 표면분석)
http://tiger6107.blog.me/140004632117
http://platin.kr/110016658107
http://blog.naver.com/hjh4142?Redirect=Log&logNo=50139683838

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