E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가

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 2  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-2
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 7  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-7
 8  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-8
 9  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-9
 10  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-10
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 13  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-13
 14  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-14
 15  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-15
 16  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-16
 17  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-17
 18  E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가-18
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소개글
E-Beam 증착법을 이용한 MOS Capacitor 제작 및 성능 평가에 대한 자료입니다.
목차
실험 개요
실험 결과
결과 분석 및 고찰
결론
참고 문헌
본문내용
실험 과정

RCA 세정으로 wafer를 세정
E-beam Evaporator로 SiO2증착
Pattern Mask 위로 Ti 증착
C-V, I-V sweep 측정
실험결과 분석 및 고찰
참고문헌
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[7] ALD 방법으로 형성한 전하 포획 메모리 소자에 관한 연구,
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석사학위논문 경희대학교 대학원 이선희, 2010