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Magnetron Sputter내 Plasma 분포 및 Target Erosion Profile 해석 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 김성구 오재준 신재광 이규상 허재석 이형인 이윤석
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 1999년, 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집, 209page(총1page)
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