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고압력(0.5Torr-10Torr)에서의 스퍼터 에칭을 위한 Self-bias 특성 조사 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 김용훈 서상훈 장홍영
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2006년, 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집, 118page(총1page)
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