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차세대 광저장매체 마스터링을 위한 전자빔 가공용 진공환경 초정밀스 테이지의 평가 및 제어 -
분야 공학 > 기계공학
저자 심종엽 김경호 황주호 송창규 박천홍
발행기관 한국정밀공학회
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 601page~602page(총2page)
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목차
부제 : Precision Linear Stage Characteristics and Control for Electron Beam Mastering of Next Generation Data Storage
1. 서론
2. 스테이지 특성 실험 및 제어
3. 결론
참고문헌
 
 
Next generation DVD, Electron-beam Mastering, Linear stage, Ball bearing, Vacuum
 
 
도움말
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