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저전압 가속 전자빔 응용 노광 특성 -
분야 공학 > 기계공학
저자 김재구 오승훈 조성학 정명영 최두선
발행기관 한국정밀공학회
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 603page~604page(총2page)
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목차
부제 : E-beam Lithography Characteristics with Low Acceleration Voltage
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
 
 
Low acceleration voltage, E-beam lithography, Nano-machining process
 
 
도움말
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