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다구찌방법을 이용한 다중이온빔 광학계의 최적설계 -
분야 공학 > 기계공학
저자 김연태 김태곤 민병권 이상조
발행기관 Korean Society for Precision Engineering
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 609page~610page(총2page)
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목차
부제 : Optimal Design of Multi-Ion Beam Optics using Taguchi Method
1. 서론
2. 인자와 응답 설정
3. 시뮬레이션 및 결과 분석
4. 결론
후기
참고문헌
 
 
electrostatic lens, electrostatic analysis, multi response optimization, focused ion beam
 
 
도움말
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