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진공용 초정밀 구동 장치의 특성 평가 기술 -
분야 공학 > 기계공학
저자 강은구 김진석 홍원표 이석우 최헌종
발행기관 한국정밀공학회
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 611page~612page(총2page)
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목차
부제 : Performance Test of Ultra-Precision Driving Unit for High Vacuum
1. 서론
2. 실험방법 및 측정
3. 결론
후기
참고문헌
 
 
Vacuum Compatible, Driving Unit, Ultra-Precision, Electron Beam
 
 
도움말
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