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넓은 튜닝범위를 갖는 마이크로 구동 스위치 기반 MEMS 가변 용량기 -
분야 공학 > 기계공학
저자 권지한 정봉원 백대현 이재익 은영기 김종백
발행기관 한국정밀공학회
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 613page~614page(총2page)
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목차
부제 : MEMS Variable Capacitor with Micro Switching Actuator for Wide Tuning Range
1. 서론

2. 광대역 튜닝을 위한 마이크로 구동 스위치 기반 MEMS 가변 용량기의 동작 원리

3. 제작공정

4. 측정 결과 및 검토

5. 결론

후기

참고문헌



 
 
Variable Capacitor, Tuning Capacitor, Micro Switch, Wide Tuning Range, Varactor
 
 
도움말
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