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미세가공의 고효율화를 위한 다중 에너지빔 기술 -
분야 공학 > 기계공학
저자 김욱배 박철우 이종항 이석우 민병권
발행기관 한국정밀공학회
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 615page~616page(총2page)
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목차
부제 : Multi-Energy Beam Technologies for Highly Efficient Nano-machining
1. 서론
2. 다중컬럼 전자빔 기술
3. 다중개구 이온빔 기술
4. 결론
후기
참고문헌
 
 
E-beam, Ion-beam, Multi-beam, Nano-machining, Microscopy
 
 
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