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t-Butyl alcohol 승화를 이용한 stiction 개선 -
분야 공학 > 기계공학
저자 김성현 박인백 김재현 이석희 김호찬
발행기관 한국정밀공학회
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 619page~620page(총2page)
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목차
부제 : Improvement of Stiction Problem Using t-Butyl alcohol Sublimation
1. 서론
2. Stiction
3. t-Butyl alcohol 승화
4. 결론
참고문헌
 
 
sublimation, t-butyl alcohol, stiction
 
 
도움말
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