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대면적 미세형상의 고속 측정기술 -
분야 공학 > 기계공학
저자 유준호 김승우
발행기관 Korean Society for Precision Engineering
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008년, 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 735page~736page(총2page)
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목차
부제 : Fast and large-area measurement for a microscopic surface
1. 서론
2. 측정 원리
3. 실험 및 측정 결과
4. 결론
5. 후기
Reference
 
 
Low-coherence interferometry, Large-area measurement, Micro-electronics
 
 
도움말
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