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반도체 클린룸용 배기 열회수식 외기공조시스템의 에너지소비 수치해석 -
분야 기타 >
저자 송근수 유경훈 김형태
발행기관 대한설비공학회
간행물정보 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2009년, 대한설비공학회 2009년도 하계학술발표대회, 1306page~1311page(총6page)
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목차
부제 : Numerical Analysis on Energy Consumption of an Exhaust Air Heat Recovery Type Outdoor Air Conditioning System for Semiconductor Manufacturing Clean Rooms
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 및 수치해석 방법
3. 결과 및 검토
4. 결론
후기
참고문헌
 
 
영문초록
In recent semiconductor manufacturing clean rooms, in order to improve clean room air quality, air washers are used to remove airborne gaseous contaminants such as NH₃, SOx and organic gases from the outdoor air introduced into clean room. Meanwhile, there is a large amount of exhaust air from a clean room. From an energy conservation point of view, heat recovery is therefore useful for reducing the outdoor air conditioning load for a clean room. Therefore it is desirable to recover heat from the exhaust air and use it to reheat the outdoor air. In the present study, numerical analysis and experiment was conducted to simulate the amount of energy reduction of exhaust air heat recovery type air washer system. The present numerical results showed good agreement with the results of the experimental data.
 
 
Outdoor Air Conditioning System(외기공조시스템), Clean Room(클린룸), Enerygy Consumption(에너지 소비), Outdoor Air Conditioning Load(외기부하), Air Washer(에어와셔), Wet Scrubber(세정집진기), Heat Recovery(열회수)
 
 
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