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Double Layer (Wet/CVD SiO₂)의 Interface Trap Density에 대한 연구 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 이경수 최성호 최병덕
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2012년, 한국진공학회 제42회 동계정기학술대회 프로그램집, 340page(총1page)
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목차
부제 :
 
 
Double layer, MOS-cap, Conductance method, Interface state density
 
 
도움말
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