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반도체 제조용 초순수에 총유기탄소 TOC (Total Organic Carbon) 오염 요인에 대한 연구 -
분야 공학 > 기계공학
저자 안찬우 주종일 임성교 김형준
발행기관 한국정밀공학회
간행물정보 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012년, 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집(상), 463page~464page(총2page)
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목차
부제 : The contamination factor of TOC in the De-ionized Water for Semiconductor Manufacturing
 
 
Pure water, Contamination, TOC(Total Organic Carbon), VOCs
 
 
도움말
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