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Nano-gap Control Algorithm for Solid Immersion Lens High-Speed Noncontact Near-Field Optical Scanning System -
분야 공학 > 기계공학
저자 Jung-Gon Kim
발행기관 대한기계학회
간행물정보 대한기계학회 춘추학술대회 2015년, Proceedings of the 4th Korea-Japan Joint Symposium on Dynamics and Control, 93page~96page(총4page)
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목차
부제 :
ABSTRACT
INTRODUCTION
EXPERIMENTAL METHODS
EXPERIMENTAL SETUP AND RESULTS
CONCLUSIONS
REFERENCES
 
 
영문초록
This paper aims to improve the robustness of the nano-gap control algorithm for a solid immersion lens (SIL)-based near-field (NF) optical scanning system against dynamic disturbances, such as external shocks and vibrations. The robust control system is essential in high-speed noncontact NF optical system because the nanoscale gap distance between the SIL and the media is 20 ㎚ or less. Thus, we propose and improved nano-gap control system with a narrow-band disturbance filter (NBDF) using the internal model principle (IMP), which is an effective control method for enhancing the performance of the system for the rejection of repeatable and nonrepeatable disturbances. Moreover, we will demonstrate improved control performance in the NBDF with a double disturbance observer (DOB) upon receiving repeatable and nonrepeatable disturbances.
 
 
Near-Field (NF) Optics, Narrow-Band Disturbance Filter (NBDF), Internal Model Principle (IMP), Double Disturbance Observer (DOB)
 
 
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