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마이크로 캔틸레버 공진시험을 통한 텅스텐 박막의 기계적 특성 평가 -
분야 공학 > 기계공학
저자 강동곤 김윤영 조윤호
발행기관 대한기계학회
간행물정보 대한기계학회 논문집 A권 2019년, 대한기계학회논문집 A권 제43권 제3호(통권 제402호), 209page~213page(총5page)
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목차
부제 : Microcantilever Resonance Testing for Mechanical Characterization of Tungsten Thin-Films
초록
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌(References)
 
 
국문초록
박막은 MEMS(microelectromechanical system) 센서 및 전자소자와 같은 다양한 응용 분야에서 사용되며, 텅스텐은 특히 반도체 메모리 소자의 게이트(gate) 물질로 사용된다. 박막의 나노 기계적 성질은 거시적 상태의 특성과 다른 경우가 많으므로 특성 길이에 적합한 측정 기술이 필요하다. 본 연구는 마이크로 캔틸레버 공진 실험을 이용하여 나노스케일 텅스텐 박막의 기계적 특성을 평가하는 것을 목표로 한다. 초음파 발생기와 마이켈슨 간섭계를 이용하여 박막의 증착에 따른 마이크로 캔틸레버의 고유진동수 변화를 광학적으로 측정하였으며, 결과는 본 연구가 제안하는 방법으로 박막의 나노 기계적 특성을 효과적으로 평가 할 수 있음을 보여준다. 본 연구는 기존 접촉역학 기반의 평가법이 갖는 단점을 극복한다.
 
 
영문초록
Thin films are used in a wide variety of applications such as microelectromechanical system sensors and electronic devices. In particular, tungsten (W) is used as a gate material for semiconductor memory devices. The nanomechanical properties of thin films often deviate from those of their macroscopic status ; hence, measurement techniques suitable for their characteristic length scale are required. This study aims to investigate the mechanical properties of nanoscale W thin films using microcantilever resonance testing. The change in the natural frequency of the microcantilever upon W film deposition was measured optically using an ultrasonic generator and a Michelson interferometer. The results show that the proposed technique can effectively evaluate the nanomechanical properties, overcoming the drawbacks of traditional contact mechanics-based methods.
 
 
Thin-film(박막), Microcantilever(마이크로 캔틸레버), Resonance Test(공진시험), Tungsten(텅스텐), Characterization(특성평가)
 
 
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