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Improvement of the Interfacial and Electrical Properties of TiN/ZrO₂/TiN MIM capacitor by Modulated Atomic Layer Deposition with Different O₃ condition -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 송홍선 김도경 이승협 용기중
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 222page(총1page)
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목차
부제 :
 
 
ALD, MIM capacitor, TiN/ZrO₂ interface, ZrO₂
 
 
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