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비정질 실리콘 박막의 스트레스 제어 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 손효수 한영재 최희수 김지현
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 232page(총1page)
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목차
부제 :
 
 
Film stress, PECVD, a-Si
 
 
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