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EUVL 펠리클 제작을 위한 다층 그래핀 성장 연구 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 류승렬 김기현 김기석 지유진 변지영 염근영
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 244page(총1page)
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목차
부제 : study on a direct growth of multi-layer graphene for a fabrication of EUVL pellicle
 
 
그래핀, rapid thermal anealing (RTA), amorphous carbon layer (ACL), 펠리클, extreme ultraviolet lithography (EUVL)
 
 
도움말
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