HOME > 자연과학 > 기타(자연과학) > 한국진공학회 > 한국진공학회 학술발표회초록집
리모트 유도결합 플라즈마를 이용한 MoS2 의 chlorine doping 및 전기적 특성변화 고찰 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 김기현 김기석 지유진 변지영 염근영
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 245page(총1page)
파일형식 3671705 [다운로드 무료 PDF 뷰어]
판매가격 1,000원
적립금 30원 (구매자료 3% 적립)
이 자료를
해당논문은 미리보기를 지원하지 않습니다.
 
연관 논문
리모트 타입의 ICP를 이용한 MoS₂의 chlorine doping 및 전기적 특성변화에 대한 연구 -
고엔탈피 열유동 발생용 고주파 유도결합 플라즈마 토치의 최적 설계변수 해석 -
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구 -
유체 모델을 이용한 질소 플라즈마의 특성 분석 -
유도결합플라즈마 원자방출분광법을 이용한 모려 칼슘의 함량 및 용출 특성 분석 -
 
 
목차
부제 : Study on chlorine doping effects through inductively coupled remote plasma system
 
 
전이금속 디칼코게나이드, MoS2, 리모트 플라즈마, chlorine doping, Field effect transistor, photocurrent
 
 
도움말
본 논문은 참고용 논문으로 수정 및 텍스트 복사가 되지 않습니다.
 
 
추천자료
초전도에 관한 조사
[환경과학] 환경오염
[나노기술] Nano Lithography
반도체&반도체 공업의 이해
TSP 부품기술 및 시장동향 조사자료
ITO의 단점을 보완한 박막전극 제조 실험
전도성 고분자 나노 입자 합성
자연과학 유기 EL OLED Organic Light Emitting Device or Diode
전지의 발전 및 기술동향 파악을 통한 미래 전지의 개발
[화공] CHEMICAL ENGINEERING
오늘 본 자료
오늘 본 자료가 없습니다.
장바구니 담은 자료
장바구니가 비어 있습니다.
이 간행물 인기자료
Double Layer (Wet/CVD SiO₂)의 Inte...
순수 플라즈마 멸균기에 대한 연구 -
진공밀폐 용해법으로 제조된 Laz...
Magnetron Sputter내 Plasma 분포 및 ...
고압력(0.5Torr-10Torr)에서의 스퍼터...
이 간행물 신규자료
결정립, 버퍼층 및 후면 반사층 이용...
Surface passivation by atomic layer...
낮은 GWP를 갖는 C5F8가스를 이용한 ...
Antisolvent temperature control der...
Highly transparent and stable coppe...
저작권 정보
본 학술논문은 ㈜누리미디어와 각 학회간에 저작권 계약이 체결된 것으로 HAPPY학술이 제공하고 있습니다. 본 저작물을 불법적으로 이용시는 법적인 제재가 가해질 수 있습니다.
 
서비스이용약관 | 개인정보취급방침 | E-mail 수집 거부 | 제휴 및 광고문의 | FAQ
이메일 무단 수집 거부
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나 그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며, 이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사처벌됨을 유념하시기 바랍니다. [게시일 2003년 4월 2일]