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수소화된 실리콘 Oxynitride 게이트 유전체가 a-ITZO기반 Thin-Film Transistor 성능에 미치는 영향 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 박진수 윤건주 전성호 김세현 김상호 김영국 이준신
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 279page(총1page)
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목차
부제 :
 
 
Hydrogenated, Gate insulator, a-ITZO, SiOxNy:H
 
 
도움말
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