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적외선 광학모듈용 내구성 DLC 광학코팅 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 권민철 오철욱 김현승 인정환
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 297page(총1page)
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목차
부제 :
 
 
PECVD, DLC, 적외선 투과, Chalcogenide, Ge, e-Beam
 
 
도움말
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