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PS-b-PDMS 기반 block-copolymer와 amorphous carbon layer를 이용한 10 nm 급 패턴 식각에 대한 연구 -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 오지수 송창훈 염근영
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 325page(총1page)
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목차
부제 :
 
 
DSA, ACL, Dry etch, PS-b-PDMS, BCP
 
 
도움말
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