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Effect of sintering temperature and oxygen partial pressure on volatilization and densification of In-Sn-Zn-O transparent conductive oxide systems -
분야 자연과학 > 기타(자연과학)
저자 Dokyum Kim Heetae Park Seonguk Oh Young-Woo Heo Jeong-Joo Kim Joon-Hyung Lee
발행기관 한국진공학회
간행물정보 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년, 2019년 한국진공학회 (제56회 동계정기학술대회 초록집), 338page(총1page)
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목차
부제 :
 
 
Sintering, Volatilization, Oxygen partial pressure, Amorphous thin film, ITZO
 
 
도움말
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