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반도체 폐가스 처리용 가스 스크러버의 전열 반응기 내열유동특성에 관한 수치해석 연구 -
분야 공학 > 기계공학
저자 윤종혁 송형운 김영배
발행기관 대한기계학회
간행물정보 대한기계학회 논문집 C권 2019년, 대한기계학회논문집 C권 제7권 제1호, 25page~32page(총8page)
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A-19 : 고정층 가스화 장치에 대한 수치 해석적 설계 연구
 
 
목차
부제 : Numerical Analysis on Heat Transfer and Fluid Flow Characteristics Inside Electrical Heating Reactor of Gas Scrubber for Semiconductor Industry
초록
Abstract
1. 서론
2. 수치해석
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌(References)
 
 
국문초록
반도체 산업의 발달과 더불어 반도체 생산공정에서 발생되는 다양한 종류의 폐가스 배출을 저감시키기 위한 관심이 집중되고 있다. 이러한 환경유해가스를 저감시키기 위한 장치로서 가스 스크러버 장치가 널리 사용되고 있으며 가스 스크러버 장치를 구성하고 있는 열분해 반응기의 성능향상을 위한 다양한 시도가 이뤄지고 있다. 본 연구에서는 수치해석기법을 기반으로 한 전산유체역학을 이용하여 열분해 반응기 내 열유동 특성을 예측하였고 실험과의 비교분석을 통하여 해석기법을 검증하였다. 온도결과에 대한 해석과 실험은 약 1.27~2.25% 수준의 오차를 보였으며 이를 통해 해석결과의 타당성을 확보하였다. 추가적으로 검증된 해석기법을 이용하여 운전조건 및 반응기 형상 변화에 따른 거동특성을 파악하였다.
 
 
영문초록
With a significant advance in a semiconductor industry, lots of interests have been concentrated on after-treatment system that purify waste gases produced from semiconductor manufacturing process. Currently, a scrubber system has been widely utilized as a after-treatment method for abating the waste gases and various works are being conducted to improve performance of electrical heating reactor, which is component of gas scrubber systems. In the present study, a numerical simulation has been performed using the commercial CFD code (Ansys CFX 17.0) to figure out the thermal and flow characteristics inside the decomposition reactor. In order to validate the numerical method herein, the numerical results of temperature are compared with the experimental data. The average error rates (1.27~2.27%) between those of results were achieved, and numerical results of temperature distribution showed good agreement with the experimental data. Using validated numerical method, the effect of operating conditions and the reactor geometry was also evaluated. The result of the present study can be useful information of the scrubber used in many kinds of industries.
 
 
Electrical Heating Reactor(전열 반응기), Computational Fluid Dynamics(전산유체역학), Waste gas(폐가스), Semiconductor industry(반도체 산업), Gas Scrubber(가스 스크러버)
 
 
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