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논문 : MEMS 및 센서 시스템 ; 파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성
분야 공학 > 기계공학
저자 정귀상 ( Gwiy Sang Chung ) , 김재민 ( Jae Min Kim ) , 윤석진 ( Suk Jin Yoon )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2003년, 제12권 제6호, 265~272쪽(총8쪽)
파일형식 26400755.pdf [다운로드 무료 PDF 뷰어]
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Anodic Bonding, MLCA, Pyrex #7740 Glass, MEMS, Diaphragm Deflection
 
 
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