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논문 : 2003년도 한국센서학회 종합학술대회 발표 우수논문 ; RNA 형광 검출을 위한 Finger형 PIN 광다이오드의 제작 및 평가
분야 공학 > 기계공학
저자 김주환 ( Ju Hwan Kim ) , 오명환 ( Myung Hwan Oh ) , 주병권 ( Byeong Kwon Ju )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제2호, 85~89쪽(총5쪽)
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영문초록
This paper represents the development of high sensitivity photo-sensor for the fluorescence detection in the integrated biological analysis system. The finger-type PIN photodiodes were fabricated as the photo-sensor, and had a high sensitivity (l_(light)/l_(dark) = 8720). The interference filter consisted of TiO₂ and SiO₂ was directly deposited on the photodiodes. Deposited filter with 95.5% reflection under 532 nm and 98% transmission over 580 nm exceedingly decreased the magnitude of background signal in the detection. The PDMS micro-fluidic channels are bonded on the photodiode by O₂ plasma treatment. The detection current was proportional to two primary parameters (light intensity, concentration), and the on-chip detection system could detect fluorescence signals down to 100 nM concentration (LOD = Limit of detection of rhodamine).
 
 
finger-type PIN photodiode, interference filter, on-chip detection, LOD
 
 
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