즐겨찾기 추가   로그인  회원가입  보관함  장바구니  고객센터
자기소개서 | 마케팅 | 교육 | 분석 | 사회 | 전교회장선거연설문
학술논문 분야별 검색 발행기관 검색 간행물 검색 상세 검색
 
레포트 논문 서식 표지/속지/템플릿 기업보고서
HOME > 공학 > 기계공학 > 한국센서학회 > 센서학회지
논문 : 2003년도 한국센서학회 종합학술대회 발표 우수논문 ; Extended SBM 공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 z축 가속도계
분야 공학 > 기계공학
저자 고형호 ( Hyoung Ho Ko ) , 김종팔 ( Jong Pal Kim ) , 박상준 ( Sang Jun Park ) , 곽동훈 ( Dong Hun Kwak ) , 송태용 ( Tae Yong Song ) , 조동일 ( Dong Il Cho ) , 허건수 ( Kun Soo Huh ) , 박장현 ( Jahng Hyon Park )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제2호, 101~109쪽(총9쪽)
파일형식 26400763.pdf [다운로드 무료 PDF 뷰어]
판매가격 4,000원
적립금 120원 (구매자료 3% 적립)
이 자료를
논문의 미리보기 2페이지를 PDF파일로 제공합니다.
 
영문초록
This paper presents a novel z-axis accelerometer with perfectly aligned vertical combs fabricated using the extended sacrificial bulk micromachining (extended SBM) process. The z-axis accelerometer is fabricated using only one 1111) SOI wafer and two photo masks without wafer bonding or CMP processes as used by other research efforts that involve vertical combs. In our process, there is no misalignment in lateral gap between the upper and lower comb electrodes, because all critical dimensions including lateral gaps are defined using only one mask. The fabricated accelerometer has the structure thickness of 30 gm, the vertical offset of 12 gm, and lateral gap between electrodes of 4 gm. Torsional springs and asymmetric proof mass produce a vertical displacement when an external z-axis acceleration is applied, and capacitance change due to the vertical displacement of the comb is detected by charge-to-voltage converter. The signal-to-noise ratio of the modulated and demodulated output signal is 80 dB and 76.5 dB, respectively. The noise equivalent input acceleration resolution of the modulated and demodulated output signal is calculated to be 500 gg and 748.tg. The scale factor and linearity of the accelerometer are measured to be 1.1 mV/g and 1.18% FSO, respectively.
 
 
Extended SBM, Z-axis accelerometer, vertical comb
 
 
도움말
본 논문은 참고용 논문으로 수정 및 텍스트 복사가 되지 않습니다.
 
오늘 본 자료
오늘 본 자료가 없습니다.
장바구니 담은 자료
장바구니가 비어 있습니다.
이 간행물 인기자료
센서 재료 및 제조공정 : 불순물 첨가...
무선센서네트워크 기반의 웨어러블 센...
2007년 한국센서학회 종합학술대회발...
논문 : MEMS 및 센서시스템 ; RF-MEMS...
센서 시스템 및 응용 : 옐로우와 사이...
이 간행물 신규자료
Industrial policy in practice Afric...
It worked in China, so why not in A...
The practice of industrial policy-L...
Policy co-ordination and growth tra...
The practice of industrial policy L...
저작권 정보
본 학술논문은 한국학술정보㈜ 각 학회간에 저작권 계약이 체결된 것으로 HAPPY학술이 제공하고 있습니다. 본 저작물을 불법적으로 이용시는 법적인 제재가 가해질 수 있습니다.
 
회사소개 | 서비스이용약관 | 개인정보취급방침 | E-mail 수집 거부 | 제휴 및 광고문의 | FAQ
이메일 무단 수집 거부
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나 그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며, 이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사처벌됨을 유념하시기 바랍니다. [게시일 2003년 4월 2일]