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논문 : 화학 및 생물센서 ; 산화주석 기반의 아세토니트릴 검지용 박막형 가스센서
분야 공학 > 기계공학
저자 최낙진 ( Nak Jin Choi ) , 반태현 ( Tae Hyun Ban ) , 곽준혁 ( Jun Hyuk Kwak ) , 임연태 ( Yeon Tae Lim ) , 주병수 ( Byung Su Joo ) , 김재창 ( Jae Chang Kim ) , 허증수 ( Jeung Soo Huh ) , 이덕동 ( Duk Dong Lee )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제3호, 218~223쪽(총6쪽)
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" 화학공학 " 게재 논문 요약 : 산화주석을 이용한 금속 - 반도체 접합형 가스센서에 관한 연구
 
 
영문초록
Thin film gas sensor based on tin oxide was fabricated and its characteristics were examined: Target gas is acetonitrile (CH₃CN) that is simulant gas of blood agent gas. Sensing materials are SnO₂, SnO₂/Pt, and (Sn/Pt)oxidation with thickness from 1000 Å to 3000 Å. Sensor was consisted of sensing electrode with interdigit (IDT) type in front side and a heater in back side. Its dimension was 7 x 10 x 0.6 mm². Fabricated sensor was measured as flow type and monitored real time using PC. The optimal sensing material for CH₃CN was {Sn(3000 Å)/Pt(30 Å)}oxidation and its sensitivity and operating temperature were 30%, 300℃ in CH₃CN₃ ppm.
 
 
SnO2, thin film, CH3CN, blood agent gas
 
 
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