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논문 : MEMS 및 센서시스템 ; 적층형 압전밸브의 설계, 제작 및 특성
분야 공학 > 기계공학
저자 정귀상 ( Gwiy Sang Chung ) , 김재민 ( Jae Min Kim ) , 윤석진 ( Suk Jin Yoon ) , 정순종 ( Soon Jong Jeong ) , 송재성 ( Jae Sung Song )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제3호, 230~235쪽(총6쪽)
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영문초록
This paper describes the design, fabrication and characteristics of a piezoelectric valve using MCA(Multilayer ceramic actuator). The MCA valve, which has the buckling effect, consists of three separate structures; MCA, a valve actuator die and an a seat die. The design of the actuator die was done by FEM modeling and displacement measurement, respectively. The valve seat die with 6 trenches was made, and the actuator die, which is driven to MCA under optimized conditions, was also fabricated. After Si-wafer direct bonding between the seat die and the actuator die, MCA was also anodic bonded to the seat/actuator die structure. PDMS sealing pad was fabricated to minimize a leak-rate. It was also bonded to seat die and SUS package. The MCA valve shows a flow rate of 9.13 seem at a supplied voltage of 100 V with a 50% duty cycle, maximum non-linearity was 2.24% FS and leak rate was 3.03 x 10^(-8) pa · m³/cm². Therefore, the fabricated MCA valve is suitable for a variety of flow control equipment, a medical bio-system, automobile and air transportation industry.
 
 
piezoelectric, valve, MCA, seat die, actuator die
 
 
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