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논문 : 센서재료, 제조공정 및 기타 ; PLD 방법으로 Al2O3(0001) 기판 위에 증착한 Y2O3:Eu(3+) 박막의 형광 특성
분야 공학 > 기계공학
저자 이성수 ( Soung Soo Yi )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제3호, 252~257쪽(총6쪽)
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영문초록
Y₂O₃:Eu^(3+) thin films have been grown on Al₂O₃ (0001) substrates by a pulsed laser deposition (PLD) method. The phosphor thin films were deposited at a substrate temperature of 500, 600, and 700℃ under the oxygen pressure of 100. 200, and 300 mTorr. The crystallinity, surface roughness and photoluminescence of the films are highly dependent on the substrate temperature and oxygen pressure. The films grown on Al₂O₃ (0001) substrate even under the different substrate temperatures and oxygen pressures exhibited (222) preferred orientation. The luminescent spectra exhibited strong luminescence of ^(5)D_(0)-^(7)F₂ transition within Eu^(+3) peaking at 612 nm. The crystallinity and luminescence intensity of the films have been improved as the substrate temperature increasing. With increase of oxygen pressure from 50 to 300 mTorr; the crystallinity of the films has been uniformly decreased. The photoluminescence intensity and surface roughness have similar behaviors as a function of oxygen pressure. At 200 mTorr, both photoluminescence intensity and surface roughness show a maximum.
 
 
photoluminescence, pulsed laser deposition, thin film, phosphor, Y2O3:Eu(3+)
 
 
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