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논문 : 물리센서 ; 초음파분무법으로 제조한 α-Fe2O3 막의 구조적 및 전기적 특성에 미치는 기판온도 효과
분야 공학 > 기계공학
저자 마대영 ( Tae Young Ma ) , 김정규 ( Jeong Gyoo Kim )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제4호, 127~131쪽(총5쪽)
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영문초록
α-Fe₂O₃ films were prepared by ultrasonic spray pyrolysis (USP) on SiO₂ coated Si wafers using iron acetylacetonate as an iron precursor. The crystallographic properties and surface morphologies of the films were characterized by X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM), respectively. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) was carried out to determine the Fe oxidation states. In order to observe stability of the films to temperature. the resistance variation of the films with an ambient temperature was measured. The effects of substrate temperature on the structural and electrical properties of the α-Fe₂O₃ films were studied. The films were densified from the substrate temperature of 350℃. The grain size of the films grown at 400℃ was shown to be increased abruptly comparing with that of 350℃. The films showed a low resistance variation between the ambient temperature of 300℃ and 350℃.
 
 
α-Fe2O3 films, ultrasonic spray pyrolysis, iron acetylacetonate, Fe oxidation states
 
 
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