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논문 : 센서재료, 제조공정 및 기타 ; 감도특성 향상을 위한 국부적 표면식각 다이아프램 구조 연구
분야 공학 > 기계공학
저자 이곤재 ( Gon Jae Lee ) , 오동환 ( Dong Hwan Oh ) , 이종홍 ( Jong Hong Lee ) , 김성진 ( Sung Jin Kim )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제4호, 154~160쪽(총7쪽)
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영문초록
In the pressure sensor, about below 20 kPa, the center boss diaphragm structure is generally used, but it is hard to obtain the high sensitivity because the center boss structure is limited at the thickness and size of diaphragm with chip size. Therefore, this paper suggests that the Center boss structure has surface etched diaphragm using a stress concentration to improve the sensitivity. We carried out the simulation and fabrication applied new diaphragm design. In the result, the sensitivity is improved to 60% without the change of non-linearity (014%FS). So, the Center boss of surface etched diaphragm can be applied for the high sensitivity in the low-pressure sensor.
 
 
diaphragm, boss, pressure sensor, stress sensitivity
 
 
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