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논문 : 화학 및 생물센서 ; Cr2O3 후막의 암모니아 가스 감지 특성
분야 공학 > 기계공학
저자 조철형 ( Chul Hyung Cho ) , 박기철 ( Ki Cheol Park ) , 마대영 ( Tae Young Ma ) , 김정규 ( Jeong Gyoo Kim )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2004년, 제13권 제6호, 424~429쪽(총6쪽)
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영문초록
Cr₂O₃ thick films were fabricated by screen printing method on alumina substrates and annealed at 700 ℃, 800 ℃, and 900 ℃ in air, respectively. Structural properties examined by XRD and SEM showed (116) dominant Cr₂O₃ peak and increased grain sizes with the annealing. The resistance of the films decreased with increasing the annealing temperature. Gas sensing characteristics to NH3, CO, C₄H_(10), and NO gases showed sensitivity only to NH3 gas. Cr2O3 thick films annealed at 700 ℃ had the sensitivity of about 15 % for 100 ppm NH₃ gas at the working temperature of 300 ℃. The thick films had good selectivity to the NH₃ gas. The response time to NH₃ gas was about 10 seconds.
 
 
Cr2O3 thick films, screen printing, selectivity to NH3 gas
 
 
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