위상천이 디지털 홀로그래피를 이용한 평판의 표면 평면도 측정
분야
공학 > 전자공학
저자
김도형 ( Do Hyung Kim ) , 양현석 ( Hyun Seok Yang ) , 박영필 ( Young Pil Park ) , 박노철 ( No Cheol Park ) , 박경수 ( Kyoung Su Park ) , 조장현 ( Jang Hyun Cho ) , 전성빈 ( Sung Bin Jeon )
발행기관
정보저장시스템학회
간행물정보
정보저장시스템학회논문집 2012년, 제8권 제2호, 44~49쪽(총6쪽)
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    영문초록
    We measured the surface flatness of both sides for refractive media using the transmitted digital holography method. To enhance the accuracy of the result, phase-shifting system was used. With two different phase modulation of reference beam, the phase profile of object can be easily obtained. Thus, we proposed the surface measurement method which can measure large area fast, compared with conventional methods. To guarantee the reliability of obtained result, we compared with Zygo measurement system. With the proposed method, the surface flatness of 3.45μm resolution could be obtained.
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