논문 : 증착 후 열처리온도에 따른 SnO2 박막의 수소 검출민감도 변화
분야
공학 > 금속공학
저자
유용주 ( Y Z You ) , 김선광 ( S K Kim ) , 이영진 ( Y J Lee ) , 허성보 ( S B Heo ) , 이학민 ( H M Lee ) , 김대일 ( Dae Il Kim )
발행기관
한국열처리공학회
간행물정보
열처리공학회지 2012년, 제25권 제5호, 239~243페이지(총5페이지)
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    영문초록
    SnO2 thin films were prepared on the Si substrate by radio frequency (RF) magnetron sputtering and then post deposition vacuum annealed to investigate the effect of annealing temperature on the structural properties and hydrogen gas sensitivity of the films. The films that annealed at 300℃ show the higher sensitivity than the other films annealed at 150℃. From atomic force microscope observation, it is supposed that post deposition annealing promotes the rough surface and also, increase gas sensitivity of SnO2 films for hydrogen gas. These results suggest that the vacuum annealed SnO2 thin films at optimized temperatures are promising for practical high-performance hydrogen gas sensors.
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