시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향
분야- 공학 > 금속공학
- 저자
- 황희섭 , 박진형 , 박재근 , 전명철 , 이승석 , 김장열 , 김흥락
- 발행기관
- 대한금속재료학회 ( 구 대한금속학회 )
- 간행물정보
- 재료마당 2012년, 제25권 제2호, 17~21페이지(총5페이지)
- 파일형식
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