단결정 실리콘 써모파일을 이용한 접촉형 온도센서 개발
분야
공학 > 전기공학
저자
이영태 ( Young Tae Lee ) , 이유나 ( You Na Lee ) , 이왕훈 ( Wang Hoon Lee )
발행기관
한국센서학회
간행물정보
센서학회지 2013년, 제22권 제5호, 369~373페이지(총5페이지)
파일형식
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    영문초록
    In this paper, we developed contact type temperature sensor with single crystal silicon strip thermopile. This sensor consists of 15 ptype single crystal silicon strips, 17 n-types and contact electrodes on silicon dioxide silicon membrane. The result of electromotive force measuring showed very good characteristic as 15.18 mV/℃ when temperature difference between the two ends of the thermopile occurs by applying thermal contact on the thermopile which was fabricated with silicon strip of 200 μm length, 20 μm width, 1 μm thickness.
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